グラファイト熱交換器
압력 용기 제조 설비
- 模倣不可・代替不可のガラス原料製造技術 / 唯一無二の独自技術
- 高品質な黒鉛加工製品、均一な質感と粒子構造
- 完璧な含浸プロセスと、一貫した機械的・熱的加工
- 酸、溶剤、塩化物、およびハロゲン化合物に対する高度な耐食性
- 優れた熱伝導率および非粘着性
応用分野
グラスライニング工程図
- ブロック型熱交換器は、耐久性に優れた装置として、あらゆる用途に最適です。
- コンパクトな設計により省スペース化を実現しており、モジュール構造のため洗浄が容易です。
シリコンカーバイド（SiC）熱交換器
압력 용기 제조 설비
- 無加圧で直接焼結された、純粋なSiCブロックを使用して製造
- 耐薬品性を低下させる要因となるシリコンを含有していません。
- 高い熱伝導性と優れた耐摩耗性
- コンパクトなシールシステム（ゼロOリング・ガスケット）
Solid Blocks made of Silicone Carbide from Ø100 to Ø300 mm
タンタル熱交換器
압력 용기 제조 설비
- タンタル：元素記号（Ta）原子番号73 - ASTM B365、B521、B708規格；VdTÜV 材料データシート 382 および 507 規定
- ニオブ：元素記号（Nb）原子番号41 - ASTM B392、B393、B394規格
- 両元素とも、自然界では常に共生しています。
- 無毒性および不活性
- 高い熱伝導性と延性
- 不動態皮膜（保護膜）として作用する酸化皮膜を自動的に形成
- したがって、化学物質および溶融金属に対して強い耐性を有しています。
- タンタルは150℃以下の環境において、（優れた）耐酸性を有しています。
- その他のレアメタルの特性を有しています。
ステンレス鋼 ＆ PFAライニング
압력 용기 제조 설비
ステンレス鋼反応器および超清浄電解研磨（EP）技術
- 半導体向け専用設計：プロセス最適化を実現する高合金ステンレス鋼（SUS316Lなど）製反応器および配管のカスタム製作
- 超清浄電解研磨（EP）処理：内面の表面粗さをナノレベルで制御し、微細パーティクルの発生および金属イオン溶出（メタルコンタミネーション）を根本から防止します。
PFAライニング ＆ 特殊コーティング トータルソリューション
- 極限の耐熱・耐真空性：急激な熱サイクル（Thermal Cycling）や高温・高真空条件下でも、剥離・膨れ（Blistering）を起こさず、完全な耐薬品性と気密性を維持します。
- 超高純度品質検証：DIウォーター（超純水）洗浄、UV検査、ピンホールおよびメガーテストなど、半導体ライン基準の厳格な洗浄ならびに無欠陥検査システムを適用しています。
- トータルラインナップ：PFA/PTFEライニング反応器、バッファー・貯蔵タンク、タワー・スクラバー、ISOコンテナ（タンクローリー）、配管フィッティングおよび特殊バルブコーティング一式
Stainless Steel Reactor
PFA Lined Reactor
